Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik
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Von der Königlichen Höheren Maschinenbauschule Aachen zu den Ingenieurfachbereichen der FH Aachen
(2010)
75 Jahre Vereinsgeschichte
(2010)
Konvergenz von drahtlosen und drahtgebundenen Kommunikationstechnologien in der Gebäudeautomation
(2009)
Modellfabrik im Zeichen der Automatisierungstechnik / Gall, Jan ; Enning, Manfred ; Abel, Dirk
(2008)
Entwicklung eines Bemessungsmodells für punktförmige Verbindungen textibewehrter Betonbauteile
(2008)
Bluetooth in der Klemme
(2008)
Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik