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Forschungs- und Technologietransfer - Wege in die Wirtschaft Neu entwickelte Software für Datenschützer im Einsatz Den Stempel aufgedrückt - Gütesiegel für Studiengänge Aufgestiegen - Fachhochschulen spielen in der ersten Liga Arbeitsbelastung - Viele Studenten kapitulieren vor der Regelstudienzeit 100 Jahre Ingenieurausbildung Prof. Schiffers - jede Menge Musik im Blut Prof. Dr. Mang - Professor mit Markenzeichen Prof. Dr. Ing. Gerhard Seehausen Prof. Dieter Rehder über Aufgaben und Ziele im Fachbereich Design Prof.Dr.-Ing. Gregor Krause jung, dynamisch, voller Tatendrang Studierende des Fachbereichs Design führen einen Dialog mit Europa ZARM-Förderpreis für Absolventin der FH Aachen Personal-Info Leinen los für die Gorch Frog Wildnisinsel inmitten der Stadt Die FH Aachen hat gewählt Kritik an Studiengebühren Das neue Corporate Design der Stadt Aachen Rachel MdB: Schnelle Hilfe für FH Aachen Landesrektorenkonferenz an der FH Aachen Nutzung alternativer Energiequellen wird immer wichtiger Zukunftswerkstatt Biosensorik Ballone und Luftschiffe aus Sicht der Rechtswisschenschaft HBZ-Informationsdienst Tag der Forschung
Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
An BaTiO3 Keramik als Modellsubstanz und mit Nd:YAG- und Excimer-Lasern wurde die Mikrostrukturierung von Grünkörperpreßlingen, deren Schrumpfungsverhalten beim Sintern und die Mikrostrukturierung von gesinterten Keramiken untersucht. Für die bessere Vergleichbarkeit wurden alle keramischen Folien, Preßlinge und Sinterwerkstoffe im Rahmen des Projektes hergestellt. Die Nd:YAG Laserbearbeitung erfolgte mit einem Rasterverfahren, bei dem der fokussierte Strahl mit Hilfe eines Scanners und eines Umlenkspiegels entlang der Bearbeitungskontur geführt wurde. Bei der Excimer Laserbearbeitung wurden die Strukturen ohne Relativbewegung zwischen Strahlquelle und Bearbeitungsobjekt durch die Abbildung einer Maske erzeugt. Mit dem Nd:YAG Laser (Wellenlänge 1,06 µ m) war eine abtragende Bearbeitung nur bei den Grünkörpern, nicht aber bei den gesinterten Keramiken möglich. Mit dem Excimer Laser (Wellenlänge 248 nm) konnten dagegen sowohl Grünkörper als auch gesinterte Keramiken strukturiert werden. Wenn die Genauigkeitsanforderungen nicht unter ± 10 µm liegen, die Bearbeitungskonturen möglichst geradlinig sind und der Anteil der zu bearbeitenden Fläche klein ist, kann mit Nd:YAG-Lasern eine effiziente Mikrostukturierung von keramischen Grünkörpern durchgeführt werden. Strukturierte Grünkörper können reproduzierbar und unverzerrt zu keramischen Bauteilen gesintert werden. Mit Excimer-Lasern wird eine höhere Genauigkeit und Qualität bei der Bearbeitung von Grünkörpern und Keramiken erreicht. Die Bearbeitungseffizienz lässt sich durch eine hohe Pulswiederholfrequenz und durch die simultane Bearbeitung großer Flächen steigern. Das für Excimer-Laserstrahlung zweckmäßige Abbildungsverfahren hat besondere Vorteile, wenn ein flächiger Abtrag mit komplexen Strukturen verwirklicht werden soll, wobei Toleranzen und Reproduzierbarkeiten von besser als ± 5 µm realisiert werden konnten. Die Mikrostrukturierung mit Excimer-Lasern ist an Grünkörpern und an gebrannten Keramiken gleichermaßen möglich. Die Abtragsraten liegen bei Grünkörpern mit 0,2 µm pro Puls zwar um ca. 50% höher als bei Keramiken, es ist jedoch zweifelhaft, ob dieser Vorteil den größeren prozeßtechnischen Aufwand bei der Bearbeitung von Grünkörpern rechtfertigen kann.