Article
Refine
Year of publication
- 2002 (167) (remove)
Institute
- Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik (45)
- Fachbereich Wirtschaftswissenschaften (22)
- Fachbereich Energietechnik (19)
- INB - Institut für Nano- und Biotechnologien (18)
- Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik (16)
- Fachbereich Luft- und Raumfahrttechnik (16)
- Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik (16)
- Fachbereich Chemie und Biotechnologie (15)
- IfB - Institut für Bioengineering (9)
- Fachbereich Architektur (6)
Document Type
- Article (167) (remove)
Keywords
- Mikrosystemtechnik (1)
- Mikrotechnik (1)
- Oxidationsofen (1)
- Oxidschicht (1)
- Photolithographie (1)
- micro technology (1)
- micro-technical components (1)
- mikrotechnische Komponenten (1)
- multimediale Lernsoftware (1)
- oxidation furnace (1)
Learning from Brachelen
(2002)
Abfallwirtschaft
(2002)
Outlier Robust Estimation of an Euler Equation Investment Model with German Firm Level Panel Data
(2002)
Anmerkung zu BGH VII ZR 135/00 (Widerklage gegen einen am Rechtsstreit nicht beteiligten Dritten)
(2002)
Unbefristete Widerspruchsmöglichkeit des Schuldners im Einzugsermächtigungslastschriftverfahren
(2002)
Welcome to the training: Actionist Respoke interaktiv by Michael Jonoschek und Rüdiger Schlömer
(2002)
Kraft-Wärme-Kälte-Kopplung mit Mikrogasturbinen : Abschlussbericht ; [01.09.2000 - 31.01.2002]
(2002)
Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.