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Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
S. Abel
;
J. Döpper
LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
(1993)
Klaus-Peter Kämper
;
W. Ehrfeld
;
H. Lehr
;
F. Michel
LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1995)
Klaus-Peter Kämper
;
B. Hagemann
;
H. Lehr
;
F. Michel
LIGA Components for the Construction of Milliactuators. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schmidt, M.
(1994)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
W. Ehrfeld
;
F. Michel
Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
U. Berg
;
H. Lehr
;
W. Ehrfeld
Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
W. Ehrfeld
;
B. Hagemann
Entwicklung von Linsenhaltern für ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
U. Berg
;
A. Wolf
;
H. Lehr
Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
S. Abel
;
W. Ehrfeld
Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
W. Ehrfeld
;
B. Hagemann
;
H. Lehr
Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
B. Hagemann
;
W. Ehrfeld
;
H. Lehr
Development of micro and millimotors. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulz, C.; Thürigen C.
(1997)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
W. Ehrfeld
;
B. Hagemann
Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1996)
Klaus-Peter Kämper
;
B. Hagemann
;
W. Ehrfeld
;
H. Lehr
Assembly of Electromagnetic Milliactuators with LIGA Components. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
(1995)
Klaus-Peter Kämper
;
H. Lehr
;
S. Abel
;
W. Ehrfeld
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