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Es wurde ein automatisiertes, computerunterstütztes Testsystem für die Funktionsprüfung und Charakterisierung von (bio-)chemischen Sensoren auf Waferebene entwickelt und in einen konventionellen Spitzenmessplatz integriert. Das System ermöglicht die Charakterisierung und Identifizierung „funktionstauglicher“ Sensoren bereits auf Waferebene zwischen den einzelnen Herstellungsschritten, wodurch weitere, bisher übliche Verarbeitungsschritte wie das Fixieren, Bonden und Verkapseln für die defekten oder nicht funktionstauglichen Sensorstrukturen entfällt. Außerdem bietet eine speziell entworfene miniaturisierte Durchflussmesszelle die Möglichkeit, bereits auf Waferlevel die Sensitivität, Drift, Hysterese und Ansprechzeit der (bio-)chemischen Sensoren zu charakterisieren. Das System wurde exemplarisch mit kapazitiven, pH-sensitiven EIS- (Elektrolyt-Isolator-Silizium) Strukturen und ISFET- (ionensensitiver Feldeffekttransistor) Strukturen mit verschiedenen Geometrien und Gate-Layouts getestet.
Bestimmung der metabolischen Aktivität von Mikroorganismen während des Biogasbildungsprozesses
(2009)
System und Verfahren zur Durchführung von Messungen biaxialer und kreuzförmiger Zugversuche, wobei ein Weg oder eine Kraft auf eine Materialprobe über mindestens zwei Nadelarme mit Nadeln geleitet wird, die in einem Gehäuse gelagert sind, wobei die Arme und/oder Nadelarme für eine ungehinderte Querkontraktion bei gleichmäßiger Lasteinleitung um eine Achse drehbar gelagert und seitlich auslenkbar sind.
Bildrestauration in der digitalen Radiographie mit Hilfe parallel arbeitender Signalprozessoren
(1998)
Es wird ein Brennstoffeinspritzsystem für Brennkraftmaschinen vorgeschlagen, bei dem ein definiertes Teil eines fest vorgegebenen Brennstoffvolumens durch die Druckerhöhung innerhalb einer brennstoffeinschließenden Kammer eine definierte Brennstoffmenge über jeweils ein Rückschlagventil abgespritzt wird. Ein elektronisches Steuergerät berechnet die Dauer und/oder Intensität und gegebenenfalls die Impulsfolge eines zum Beispiel zur Verdampfung einer bestimmten Brennstoffmenge erforderlichen Laserimpulses. Das System kann für Ein- oder Mehrstelleinspritzung Verwendung finden.
Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionelle Schicht zur Multiparameterdetektion
(2013)
ComputerMathematik mit Maple
(2003)
Der Mensch als Läufer
(1999)
Der Schlüssel zur Ewigkeit
(1999)