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(2002)
Gute Chancen im Maschinenbau
(2002)
Gute Chancen im Maschinenbau
(2002)
Chancen im Maschinenbau
(2002)
Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
1) Module werden die Fahrzeugplattform und den –aufbau in Zukunft weiterhin und in zunehmendem Maße bestimmen. 2) Neue Module und Modulschnittstellen am Fahrzeug werden überdacht und können in der Zukunft erwartet werden. 3) Die Wertschöpfung und der Entwicklungsumfang wird sich vom OEM zum Modullieferanten verlagern. 4) Modulvergaben werden in der Zukunft noch stärker auf Innovation und Kostenreduktion beruhen. 5) Modularisierung des Fahrzeuges heißt ein Aufbrechen der Fahrzeugkarosserie und wird daher von der Beherrschung struktureller Aufgaben sowie der Lösung der (sichtbaren) Modulübergänge bestimmt sein. 6) Neben den Systemintegratoren und den Komponentenspezialisten besetzen die Modullieferanten die erste Lieferantenriege. 7) Der Modullieferant wird neben höchster Fertigungsexpertise ein hohes Maß an (Teil-)fahrzeug-Know-How und Produktentwickler-mentalität bereitstellen.
Macroporous silicon has been etched from n-type Si, using a vertical etching cell where no rear side contact on the silicon wafer is necessary. The resulting macropores have been characterised by means of Scanning Electron Microscopy (SEM). After etching, SiO₂ was thermally grown on the top of the porous silicon as an insulating layer and Si₃N₄ was deposited by means of Low Pressure Chemical Vapour Deposition (LPCVD) as transducer material to fabricate a capacitive pH sensor. In order to prepare porous biosensors, the enzyme penicillinase has been additionally immobilised inside the porous structure. Electrochemical measurements of the pH sensor and the biosensor with an Electrolyte/Insulator/Semiconductor (EIS) structure have been performed in the Capacitance/Voltage (C/V) and Constant capacitance (ConCap) mode.