Taking piezoelectric microsystems from the laboratory to production / Raeder, H. ; Tyholdt, F. ; Booij, W. ; Calame, F. ; Ostbo, N. P. ; Bredesen, R. ; Prume, K. ; Rijnders, G. ; Muralt, P.
Verfasserangaben: | Klaus Prume, H. Raeder, F. Tyholdt, W. E. Booij |
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ISBN: | 1385-3449 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Electroceramics. 19 (2007), H. 4 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2007 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 357 |
Letzte Seite: | 362 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1007/s10832-007-9036-3 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |