The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies
- The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, Antoni Picard, Manfred Brill, Detlev Cassel, Andreas Jentsch, Sabine Merten, Markus Rollwa |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.21269/86 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2003 |
| Veröffentlichende Institution: | Fachhochschule Aachen |
| Beteiligte Körperschaft: | FH Kaiserslautern/Zweibrücken |
| Datum der Publikation (Server): | 21.12.2005 |
| Freies Schlagwort / Tag: | MST virtual clean room |
| GND-Schlagwort: | Virtuelle Maschine; VM; Mikrosystemtechnik |
| Quelle: | mst news International newsletter on micro - nano Integration(2003), H. |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
| DDC-Klassifikation: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
