Miniaturised flow-through cell with integrated capacitive EIS sensor fabricated at wafer level using Si and SU-8 technologies
| Verfasserangaben: | Michael Josef SchöningORCiD, Niko Näther, V. Auger, Arshak PoghossianORCiD, M. Koudelka-Hep |
|---|---|
| ISBN: | 0925-4005 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 108 (2005), H. 1-2 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2005 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 986 |
| Letzte Seite: | 992 |
| Bemerkung: | Proceedings of the Tenth International Meeting on Chemical Sensors — IMCS - 10 2004 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2004.12.029 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
