The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies
| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, Antoni Picard, Manfred Brill, Detlef (u.a.) Cassel |
|---|---|
| ISBN: | 0948-3128 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2003 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 35 |
| Letzte Seite: | 36 |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
