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Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.

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Metadaten
Author:Klaus-Peter Kämper, H. Lehr, W. Ehrfeld, B. Hagemann
ISBN:3-18-091269-3
Parent Title (German):Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Publisher:VDI-Verl.
Place of publication:Düsseldorf
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:1996
Date of the Publication (Server):2012/12/18
Length:444 S. : Ill., graph. Darst.
First Page:77
Note:
VDI-Berichte ; 1269
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik