Piezoelectric thin films: evaluation of electrical and electromechanical characteristics for MEMS devices / Prume, K. ; Muralt, P. ; Calame, F. ; Schmitz-Kempen, T. ; Tiedke, S. ;
Verfasserangaben: | Klaus Prume, P. Muralt, F. Calame, T. Schmitz-Kempen |
---|---|
ISBN: | 0885-3010 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control. 54 (2007), H. 1 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2007 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 81 |
Letzte Seite: | 14 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1109/TUFFC.2007.206 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |