The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies
Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, Antoni Picard, Manfred Brill, Detlef (u.a.) Cassel |
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ISBN: | 0948-3128 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2003 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 35 |
Letzte Seite: | 36 |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |