Self-aligned nanogaps and nanochannels via conventional photolithography and pattern-size reduction technique
| Verfasserangaben: | Heiko Spelthahn, Arshak PoghossianORCiD, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 0013-4686 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Electrochimica Acta. 54 (2009), H. 25 Sp. Iss. SI |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2009 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 6010 |
| Letzte Seite: | 6014 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/j.electacta.2009.03.029 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
