Extensive electromechanical characterization of PZT thin films for MEMS applications by electrical and mechanical excitation signals / Prume, Klaus ; Muralt, Paul ; Calame, Florian ; Schmitz-Kempen, Thorsten ; Tiedke, Stephan
| Verfasserangaben: | Klaus Prume, Paul Muralt, Florian Calame, Thorsten Schmitz-Kempen |
|---|---|
| ISBN: | 1385-3449 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Electroceramics. 19 (2007), H. 4 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2007 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 407 |
| Letzte Seite: | 411 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1007/s10832-007-9065-y |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
