Taking piezoelectric microsystems from the laboratory to production / Raeder, H. ; Tyholdt, F. ; Booij, W. ; Calame, F. ; Ostbo, N. P. ; Bredesen, R. ; Prume, K. ; Rijnders, G. ; Muralt, P.
| Verfasserangaben: | Klaus Prume, H. Raeder, F. Tyholdt, W. E. Booij |
|---|---|
| ISBN: | 1385-3449 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Electroceramics. 19 (2007), H. 4 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2007 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 357 |
| Letzte Seite: | 362 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1007/s10832-007-9036-3 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
