Effects of the top-electrode size on the piezoelectric properties (d33 and S) of lead zirconate titanate thin films / Gerber, P. ; Roelofs, A. ; Kügeler, C.; Böttger, U. ; Waser, R. ; Prume, K. ;
Verfasserangaben: | Klaus Prume, P. Gerber, A. Roelofs, C. Kügeler |
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ISBN: | 0021-8979 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Applied Physics . 96 (2004), H. 5 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2004 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 2800 |
Letzte Seite: | 2804 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1063/1.1775306 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |