Electrical and electromechanical characterization of piezoelectric thin films in view of MEMS application / Tiedke, S. ; Prume, K. ; Schmitz-Kempen, T.;
| Verfasserangaben: | Klaus Prume |
|---|---|
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2007 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 702 |
| Bemerkung: | ISAF 2007. Sixteenth IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, 2007 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1109/ISAF.2007.4393376 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
