Electrical and electromechanical characterization of piezoelectric thin films in view of MEMS application / Tiedke, S. ; Prume, K. ; Schmitz-Kempen, T.;
Verfasserangaben: | Klaus Prume |
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Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2007 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 702 |
Bemerkung: | ISAF 2007. Sixteenth IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, 2007 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1109/ISAF.2007.4393376 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |