Extensive electromechanical characterization of PZT thin films for MEMS applications by electrical and mechanical excitation signals / Prume, Klaus ; Muralt, Paul ; Calame, Florian ; Schmitz-Kempen, Thorsten ; Tiedke, Stephan
Verfasserangaben: | Klaus Prume, Paul Muralt, Florian Calame, Thorsten Schmitz-Kempen |
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ISBN: | 1385-3449 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Journal of Electroceramics. 19 (2007), H. 4 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2007 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 407 |
Letzte Seite: | 411 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1007/s10832-007-9065-y |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |