Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren
| Verfasserangaben: | Arshak PoghossianORCiD, H. Wagner, Michael Josef SchöningORCiD |
|---|---|
| ISBN: | 978-3-8007-3260-9 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA) |
| Verlag: | VDE Verlag |
| Verlagsort: | Berlin |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 2010 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Umfang: | 1 CD-ROM |
| Erste Seite: | 89 |
| Letzte Seite: | 92 |
| Bemerkung: | Fachtagung Sensoren und Messsysteme 15, 2010, Nürnberg ; Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
