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Funktionsprüfung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle für den zukünftigen Einsatz in der Sensorproduktion

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Verfasserangaben:Joachim P. Kloock, Arshak PoghossianORCiD, K. Schumacher, C. Rosenkranz, J. W. Schultze, Mattea Müller-Veggian, Michael Josef SchöningORCiD
ISBN:3-8007-2939-3
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch):Sensoren und Messsysteme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. März 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl
Verlag:VDE-Verl.
Verlagsort:Berlin
Dokumentart:Wissenschaftlicher Artikel
Sprache:Deutsch
Erscheinungsjahr:2006
Datum der Publikation (Server):18.12.2012
Umfang:630 S. : Ill., graph. Darst.
Erste Seite:257
Letzte Seite:260
Bemerkung:
Fachtagung Sensoren und Messsysteme <13, 2006, Freiburg, Breisgau>
Fachbereiche und Einrichtungen:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien