Piezoelectric thin films: evaluation of electrical and electromechanical characteristics for MEMS devices / Prume, K. ; Muralt, P. ; Calame, F. ; Schmitz-Kempen, T. ; Tiedke, S. ;
| Verfasserangaben: | Klaus Prume, P. Muralt, F. Calame, T. Schmitz-Kempen |
|---|---|
| ISBN: | 0885-3010 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control. 54 (2007), H. 1 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2007 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 81 |
| Letzte Seite: | 14 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1109/TUFFC.2007.206 |
| Zugriffsart: | campus |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
