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Lecture notes Sensors and Actuators WS 2008/2009 (2008)
Klaus-Peter Kämper
Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2008/2009. 488 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids 14. Index
Lecture notes Sensors and Actuators (2007)
Klaus-Peter Kämper
Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2007/2008. Version 2007-08-30. 472 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids
Development of low-cost injection moulded micropumps. Entwicklung von kostengünstigen, mittels Spritzguß hergestellten Mikropumpen / Döpper, J. (u.a.) (1996)
Klaus-Peter Kämper
Die Mikroaktorik wird erwachsen (2002)
Klaus-Peter Kämper
Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. (1996)
Klaus-Peter Kämper
Education and Training in MST. Kämper, K.-P.; Picard, A.; Brill, M.; Cassel, D.; Jentsch, A.; Merten, S.; Rollwa, M. (2003)
Klaus-Peter Kämper
Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F. (1994)
Klaus-Peter Kämper
Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 (2007)
Klaus-Peter Kämper
Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
Spin-polarized electron-energy-loss spectroscopy on epitaxial fcc Co layers on Cu(001) (1992)
Klaus-Peter Kämper ; D. L. Abraham ; H. Hopster
Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. (1998)
Klaus-Peter Kämper ; M. Abraham ; W. Ehrfeld ; V. Hessel
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