A semiconductor-based field-effect platform for (bio-)chemical and physical sensors: From capacitive EIS sensors and LAPS over ISFETs to nano-scale devices
| Verfasserangaben: | Michael Josef SchöningORCiD, Maryam H. Abouzar, Torsten WagnerORCiD, Niko Näther, David Rolka, Tatsuo Yoshinobu, Joachim P. Kloock, Monika Turek, Sven Ingebrandt, Arshak PoghossianORCiD |
|---|---|
| DOI: | https://doi.org/10.1557/PROC-0952-F08-02 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | MRS Proceedings |
| Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2006 |
| Datum der Publikation (Server): | 14.01.2015 |
| Erste Seite: | 1 |
| Letzte Seite: | 9 |
| Bemerkung: | Vol. 952 - Symposium F - Integrated Nanosensors |
| Zugriffsart: | bezahl |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
| FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |
