A semiconductor-based field-effect platform for (bio-)chemical and physical sensors: From capacitive EIS sensors and LAPS over ISFETs to nano-scale devices
Verfasserangaben: | Michael Josef SchöningORCiD, Maryam H. Abouzar, Torsten WagnerORCiD, Niko Näther, David Rolka, Tatsuo Yoshinobu, Joachim P. Kloock, Monika Turek, Sven Ingebrandt, Arshak PoghossianORCiD |
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DOI: | https://doi.org/10.1557/PROC-0952-F08-02 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | MRS Proceedings |
Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2006 |
Erste Seite: | 1 |
Letzte Seite: | 9 |
Bemerkung: | Vol. 952 - Symposium F - Integrated Nanosensors |
Zugriffsart: | bezahl |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |